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共聚焦三维表面形貌仪能够在同一测试平台上运行多种测试，产品的组合可根据不同的技术应用要求而改变。针对样品的同一区域可进行不同模式的实验检测，模式切换可实现全自动化。多项技术的整合能够使不同技术在同一检测仪上充分发挥各自的优势。该项整合技术不仅有利于数据的综合分析，也可以减少维护成本，从而提高效率。
轮廓仪特点：
共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。
轮廓仪技术参数：
项 目 简 述 参数说明
共聚焦三维表面形貌仪
可 快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。使用高数值孔径 (0.95) 以及高倍数的 (150X) 3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析 (最大斜率<干涉测量>: 72o vs 44o) 。具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机， 空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%- 100%) 应用于透明层/薄膜。兼容亮视野&暗视野; 光学DIC。长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。 独有的稳定性。
